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掃描電鏡能夠提供納米級別的高分辨率圖像

更新時間:2024-12-03      點擊次數(shù):609
  在現(xiàn)代科學和工業(yè)領域,掃描電鏡(Scanning Electron Microscope,SEM)是一種重要的分析工具。它以其空間分辨率、豐富的表面信息和多樣的樣品適用性,成為材料科學、生命科學、半導體工業(yè)等領域不可少的關鍵技術之一。掃描電鏡的核心工作原理基于電子與物質相互作用的理論。當一束細聚焦的高能電子束照射到樣品表面時,會在樣品中激發(fā)出各種信號,如二次電子、背散射電子、特征X射線等。這些信號被相應的探測器捕獲并轉換為圖像,從而提供關于樣品表面形貌和組成的信息。
 
  1.電子槍與電子束的形成:電子通過電磁透鏡系統(tǒng)聚焦成極細的束流,然后以光柵掃描的方式照射到樣品表面上。
 
  2.信號的產生與收集:當電子束與樣品相互作用時,會產生多種類型的信號。其中,二次電子因其對樣品表面形貌非常敏感,常用于生成高分辨率的表面形貌圖像。背散射電子則提供了有關樣品組成和拓撲結構的信息。
 
  3.信號的處理與成像:收集到的信號經過放大處理后,用于調制顯示器上的亮點強度,最終形成一幅反映樣品表面特性的圖像。
 
  掃描電鏡的主要特點:
 
  1.高分辨率:能夠提供納米級別的高分辨率圖像,使得科學家能夠觀察到微觀世界中的細節(jié)。
 
  2.三維形態(tài)觀察能力:由于二次電子主要來自樣品表層幾納米的深度,因此SEM圖像具有很好的三維形態(tài)感,適用于復雜表面結構的觀察。
 
  3.樣品適應性強:無論是導體還是非導體,只要適當處理,幾乎所有類型的樣品都可以通過SEM進行觀察。
 
  4.成分分析功能:配合能量色散X射線光譜儀(EDS),SEM還可以進行元素的定性和定量分析。
掃描電鏡

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